【设备特点】

1、精确温湿度调控：确保曝光机、显影/ 涂布设备等制程良率

2、定制化风量设计：根据客户的具体需求，定制风量，送风单元结构均匀布置，确保空气流通的均匀性，进一步提升制程质量。

3、超准温度控制：温度控制精度高达±0.01℃，远超行业标准，为产线环境提供了稳定性，从而确保了产品的优良率。

【产品应用】

1、温度控制精度：±0.1℃~±0.01℃

2、湿度控制精度：±2%RH~±1%RH

3、广泛适用领域：该设备广泛应用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂等精密温湿度控制领域，助力企业提升产品质量，确保生产过程的稳定与高效。